半導体業界をはじめ、長年ご好評頂いている「フッ素樹脂継手」を始めとした、
株式会社フロウエル各種製品のご紹介

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「フッ素樹脂」の耐薬品性表はこちら（pdf)

フッ素樹脂継手

80s
80シリーズ
最先端プロセス向け

専用治具あり
・優れたパーティクル排出性
・業界初230℃対応
・用途：洗浄装置、コータデベロッパ

70s
70シリーズ
差し込み式全周溶着

専用治具あり
・ビードフリー構造でフラットな溶着内面 
・加熱･冷却プロセスを自動化 
・用途：洗浄装置、薬液供給設備、VMB(バルブマニホールドボックス) 

60s
60シリーズ
半導体プロセス向け

専用治具あり
・高性能フレアタイプ継手
・優れた液置換特性
・用途：コータデベロッパ

30s
30シリーズ
多用途タイプ

専用治具なし
・簡単施工のロングセラー継手
・用途：理化学機器、分析機器 他

シリーズ性能比較表

80シリーズ70シリーズ60シリーズ30シリーズ
最高
使用温度		230℃200℃100℃100℃
サイズ
ライン
ナップ		Inch：
Φ1/8～1″
mm：
Φ3～25 		Inch：
Φ1/4～1-1/2″
mm：
適用なし		Inch：
Φ1/8～1″
mm：
Φ3～25 		Inch：
Φ1/8～3/4
mm：
Φ3～19
施工
治具		要要要‐
本体
材質		Body：PFA/PTFE
Nut：PFA		Body：PFA/PTFE
Nut：なし		Body：PFA/PTFE
Nut：PFA 		Body：PTFE
Nut：ECTFE
適用
チューブ
材質		PFAPFA PFA/
PTFE 		PFA/
PTFE
20シリーズ
高温対応継手

専用治具あり
・インナーリングタイプ継手
・簡単施工、コンパクト設計

50シリーズ
ネジ変換用継手

・管用テーパーネジ(PT、NPTネジ対応)
・フッ素樹脂(PTFE)とステンレス(SUS316)

ステンレス継手

IWシリーズ
フェルル式SUS継手

・SUS316製
・使用温度：-196℃～600℃
・専用治具不要

PWシリーズ
フッ素樹脂チューブ接続用

・SUS316製
・最高使用温度100℃
・IWシリーズとのボディの共用が可能 

バルブ

4600シリーズ

シャットオフバルブ
・20シリーズ接続式
・コンパクト設計

6100シリーズ

多方向切替バルブ
・豊富なポートパターン
・ 接液部材質：PCTFE、PVC

4410シリーズ

ニードルバルブ
・SUS316製
・微量でもコントロールが容易

5510シリーズ

トグルバルブ
・SUS316製
・ワンタッチで開閉可能

3100シリーズ

チェックバルブ
・SUS316製
・微圧力で正確に動作

チューブ

フッ素樹脂チューブ

・PFA、PTFEの2種類
・各継手に対応したサイズを網羅

プライアントチューブ

・フレキシブルな取り回しが可能
・20シリーズ継手を接続して納入

フィルター

1110シリーズ

インラインフィルタ
・エレメント交換が容易
・コンパクト設計

ミクロンフィルター

SUS316L焼結フィルタ
・高精度表面ろ過フィルタ
・豊富なバリエーション

その他

フッ素樹脂製 圧力計

・60シリーズ、20シリーズ接続式
・豊富な測定レンジ